WAP主動(dòng)式減震系統(tǒng)
WAP主動(dòng)隔振系統(tǒng)
性能指標(biāo):
主動(dòng)隔振系統(tǒng)出色的隔振效果:垂直方向上在10Hz時(shí)為-27dB
無觸點(diǎn)調(diào)平機(jī)制可以改善隔振效果
控制箱帶有三個(gè)比例閥
PID回路用于精密調(diào)平控制
無油設(shè)計(jì),保證無泄漏
獨(dú)立式工作臺(tái)方案
極低的共振頻率:小于1.7Hz
快速的穩(wěn)定時(shí)間,通常為1- 5秒
主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以用來改善剛性工作臺(tái)
WAP主動(dòng)隔振系統(tǒng)具有便攜、輕質(zhì)、低剖面特性,可以作為靈敏臺(tái)式裝備和實(shí)驗(yàn)的振動(dòng)控制方案。該系統(tǒng)包含四個(gè)氣動(dòng)隔振器,它們必須與一個(gè)恒定空氣補(bǔ)給相連接,可以是一個(gè)或瓶裝空氣,此外它還包含一個(gè)帶鍵盤電子控制箱。其它隔振器數(shù)量可按客戶需求來定制。
如下圖所示,控制箱包含了3個(gè)比例閥,每個(gè)分別控制一個(gè)主隔振器。第四個(gè)(附加的)隔振器是由3個(gè)主隔振支腳之一進(jìn)行控制。這些比例閥的控制是通過一個(gè)PID控制環(huán)路實(shí)現(xiàn)的,它可以為調(diào)平系統(tǒng)提供反饋信號(hào)。這種電子傳感系統(tǒng)不需要傳統(tǒng)系統(tǒng)中閥門與面包板之間的機(jī)械聯(lián)動(dòng)裝置,從而具有更好的隔振效果。通過控制箱上的鍵盤,可以進(jìn)行手動(dòng)調(diào)平或高
度調(diào)節(jié)。當(dāng)參數(shù)都設(shè)定好后,隔振器會(huì)保持平臺(tái)水平,之后的任何擾動(dòng)都會(huì)被其自動(dòng)校正。這些微型電子隔振基座直徑只有110毫米(4.33英寸),高只有71毫米(2.8英寸),使其極其適合用于面包板和小型光學(xué)平臺(tái)。
該隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于桌面、平臺(tái)表面或其它類似工作表面。其隔振器可以獨(dú)立使用,從而提供臨時(shí)或可移動(dòng)的隔振方案。此外,它們還可以用螺栓安裝到一個(gè)英制或公制螺紋表面,用于更加長期的應(yīng)用。這些隔振器還可以用來升級(jí)一個(gè),使其具有有源隔振效果。
這些支撐座包含的隔振系統(tǒng)能夠有效隔離工作表面的垂直方向和水平方向的振動(dòng),使其有效消除在3 -50 Hz的頻率范圍附近的振動(dòng),該范圍是大部分常見大振幅振動(dòng)源的振動(dòng)頻率范圍。通過空氣驅(qū)動(dòng)的氣動(dòng)隔振系統(tǒng),可以有效隔離面包板的振動(dòng)。這種的設(shè)計(jì)不需要使用油基阻尼系統(tǒng),從而不會(huì)發(fā)生泄漏,長時(shí)間使用后也不會(huì)降低效果。這些支撐座由一個(gè)控制箱進(jìn)行控制,可以控制氣動(dòng)系統(tǒng)中的氣壓值來控制面包板的高度。如果面包板在垂直方向發(fā)生位移,控制箱可以根據(jù)需要改變每個(gè)隔振器的氣壓大小,從而讓面包板回復(fù)到原來的高度。
適用設(shè)備:
★單晶硅拉晶爐、半導(dǎo)體檢查裝置、光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備、納米級(jí)測量測試設(shè)備等精密設(shè)備。
★光學(xué)、精密計(jì)量、精密測量、生物、醫(yī)學(xué)、微電子、半導(dǎo)體等各個(gè)領(lǐng)域
規(guī)格說明:
a. 在全負(fù)載下
b. 重量小于66磅(30千克)也可以使用,但穩(wěn)定時(shí)間、重復(fù)性和隔震效果有可能會(huì)受影響。
c. 穩(wěn)定時(shí)間定義為當(dāng)閥門開放到所有LED點(diǎn)亮的時(shí)間(在誤差范圍內(nèi))。該系統(tǒng)在此后2秒會(huì)關(guān)閉。
d. 穩(wěn)定時(shí)間根據(jù)重量、壓力、體型、中心質(zhì)量和誤差窗口的不同而發(fā)生變化。
e. 上述數(shù)據(jù)是對于整個(gè)負(fù)載范圍[66 -462磅(30 -210千克)]內(nèi)較小“敲擊式"擾動(dòng)提供的,負(fù)載平均分布。
f. 在36千克負(fù)載、600毫米 x 600毫米封裝和20psi情況下測量。
g. 對于較大擾動(dòng),如當(dāng)大重量負(fù)載(20千克或以上)被移動(dòng)時(shí),有可能會(huì)發(fā)生過載,這樣會(huì)導(dǎo)致隔振支腳漏氣。在這種情況下穩(wěn)定時(shí)間小于1分鐘。
為了防止系統(tǒng)振動(dòng)或穩(wěn)定時(shí)間過長,安裝表面必須保證4.0毫米范圍內(nèi)是平整的。