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ZB-1薄膜規(guī)熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀

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上海唯科電氣有限公司
2022-08-22 11:36:41
上海
906

【簡單介紹】

ZB-1薄膜規(guī)熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀

【詳細說明】

系列真空測量儀是智能雙通道低真空測量儀。
    ZB-1薄膜規(guī)-熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀在ZO-2熱偶真空測量儀基礎(chǔ)上增加了一路薄膜規(guī)管，用于測量10kPa-0.1Pa之間的真空度。本儀器可同時測量兩路真空度，其中真空室1由熱偶規(guī)管1和薄膜規(guī)管分段復(fù)合測量。
    薄膜規(guī)在10kPa-100Pa間測量精度很高，但測量數(shù)百帕真空度時受溫度影響很大。熱偶規(guī)管在10kPa-100Pa間很差，但測量數(shù)百帕-1Pa真空度時測量精度較好，受溫度影響大。ZB-1綜合了上述兩種真空規(guī)管的長處，可以在10kPa-0.1Pa間均有較好的測量精度。
    儀器在較高的真空度條件下(P<10Pa),可以根據(jù)熱偶規(guī)管測量的真空度動態(tài)校準薄膜規(guī)的零點，補償它的溫飄及零飄。由此，薄膜規(guī)可獲得更好的使用性能。


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