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愛德華IH系列干泵維修

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更新時間：2025-01-09 09:03:37瀏覽次數(shù)：9次

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產(chǎn)品簡介

iH高真空干泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細(xì)介紹

iH 高真空干泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和封閉的水冷卻電機(jī)。

應(yīng)用

負(fù)載鎖定

轉(zhuǎn)換

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預(yù)清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD