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日本EBARA任原ESA系列干泵維修

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更新時間：2025-01-09 08:53:48瀏覽次數(shù)：7次

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產(chǎn)品簡介

ModelESA系列羅茨真空泵抽氣速度：30,000L/min適合輕制程ModelESA系列是新研發(fā)的干式真空泵，具有的高速排氣性能，從而適應(yīng)了LCD濺射制膜裝置，真空干燥制程，大型L/L等工藝要求

詳細(xì)介紹

Model ESA系列

羅茨真空泵抽氣速度：30,000L/min 適合輕制程 Model ESA系列是新研發(fā)的干式真空泵，具有的高速排氣性能，從而適應(yīng)了LCD濺射制膜裝置，真空干燥制程，大型 L/L等工藝要求。并擁有高附加價值，對應(yīng)氣體負(fù)荷自動控制轉(zhuǎn)速，高通信功能等。

特點(diǎn):

● 于大型真空反應(yīng)室的高速排氣

● 具有高性能通信機(jī)能

● 轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能

● 采用高度控制泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式

● 采用大口徑轉(zhuǎn)子，設(shè)計(jì)上小型

● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運(yùn)性能降低

● 也可用于有機(jī)溶劑排氣上用的特別規(guī)格

ESA 2.JPG