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PM單極性脈沖電源

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更新時間：2024-08-21 10:37:22瀏覽次數(shù)：41次

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深圳市英能電氣有限公司

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產品簡介

應用領域：單極性磁控濺射靶材金屬膜、碳膜和部分氧化物氮化物及碳化物膜主要特點：·電弧反應靈敏 ·有效改善靶面電荷積累現(xiàn)象

詳細介紹

應用領域：單極性磁控濺射靶材

金屬膜、碳膜和部分氧化物

氮化物及碳化物膜

主要特點： · 電弧反應靈敏

· 有效改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)

· 膜層致密、光潔度較好

· RJ45、RS485、WIFI、光纖等端口，MODBUS通訊協(xié)議

· 過流、短路、過熱保護，工作安全可靠

項目Item	型號Model
	PM-10	PM-20	PM-30
輸入電壓Input	三相交流380V +5%，50～60 HzAC 380V +5%, 50～60 Hz
輸出頻率Frequency	40～80kHz
占空比Duty	10%-80%
輸出電壓Voltage	10～1000V
輸出電流Peak Current	10A	20A	30A
輸出功率Peak power	10KW	20KW	30KW
通訊方式Interface	RJ45、RS485、WIFI、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協(xié)議RJ45、RS485、WIFI、Optical fiber and other communication ports、MODBUS communication protocol
冷卻方式Cooling	水冷+風冷Water + Air
尺寸Size	706mm（D）×480mm（W）×225mm（H）
重量Weight	約50kg