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TG70F控制器一體型復(fù)合分子泵

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深圳市科銳詩汀科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點(diǎn)排氣范圍廣：低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣大流量排氣：可排大流量的氣體迅速啟動：啟動快，可縮短待機(jī)時(shí)間耐振動耐沖擊：經(jīng)得住壓力的急速上升，耐大氣沖擊能力強(qiáng)

詳細(xì)介紹

安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點(diǎn)

排氣范圍廣：低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣
大流量排氣：可排大流量的氣體
迅速啟動：啟動快，可縮短待機(jī)時(shí)間

耐振動耐沖擊：經(jīng)得住壓力的急速上升，耐大氣沖擊能力強(qiáng)；且適用于受外部震動影響的使用環(huán)境

的耐久性：通過適當(dāng)?shù)木S修可長期使用（泵的壽命達(dá)到10萬小時(shí)以上）

用途：半導(dǎo)體；FPD(LCD,PDP,有機(jī)EL,FED,其他)制造；各種電子部件的制造；管球制造，光學(xué)部件（鏡片，光學(xué)過濾器等）制造；尤其適用于移動式的排氣裝置；電子槍排氣，離子源排氣，熱處理；表面處理，表面改質(zhì)；分析，試驗(yàn)裝置；加速器，放射光設(shè)備，核聚變研究；研究開發(fā)用

TG70F控制器一體型復(fù)合分子泵

*輔助泵的容量是25L/min情況下的容許流量
使用環(huán)境溫度：極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、容許環(huán)境溫度是8-38度
對應(yīng)氣體種類：根據(jù)抽吸氣體種類，軸承潤滑脂或內(nèi)部部件會受損。有關(guān)對應(yīng)的氣體種類請咨詢
標(biāo)準(zhǔn)組合：泵+控制器用接口

特殊附屬品（另行購買）：冷卻風(fēng)扇，控制器+電機(jī)電纜（TG20F-20的情況），自動慢排閥，氣體吹掃接口，精密針型閥，配管部件。

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