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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)

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深圳市科銳詩汀科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

INFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計(jì)INFICONB-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，BPG402-S，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi)，測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）

詳細(xì)介紹

INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)

INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，BPG402-S，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi)，測量范圍從5X10^-10毫巴至大氣壓（3.8X10^-10乇至大氣壓）。復(fù)合技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲，用于普及和可再現(xiàn)過程中的基本壓強(qiáng)測量。當(dāng)更換傳感器時(shí)，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感元件保證高度的重復(fù)性。

性：

1、極寬的測量范圍從5X10^-10毫巴至大氣壓（3.8X10^-10乇至大氣壓）

2、的重復(fù)性，過程壓強(qiáng)范圍從10^-8…10^-2毫巴均為5%

3、皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)B-A型系統(tǒng)，防止燈絲過早燒毀和高壓強(qiáng)運(yùn)行產(chǎn)生污染

4、兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲

5、可選圖形顯示和Fieldbus接口

6、自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

7、易于更換傳感元件，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高度的重復(fù)性

8、符合RoHS

用途：

1、半導(dǎo)體工藝過程和傳輸室中的壓強(qiáng)測量

2、工業(yè)鍍膜