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UL1000 Fab氦氣真空檢漏儀(干式)

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產(chǎn)品簡介

UL1000Fab.pdfUL1000Fab氦氣真空檢漏儀(干式)ULTRATEST™傳感器技術(shù)工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的干式標準INFICONUL1000Fab氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空泄漏檢測的標準

詳細介紹


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UL1000 Fab氦氣真空檢漏儀(干式)

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

 工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的"干式"標準

 INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空泄漏檢測的標準。

 通過儀器的干式泵技術(shù),可以消除被測部件或設(shè)備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟性之間提供了的性價比。它提供的 10-12 mbar·l/s 檢測極限,具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點。緊湊的設(shè)計提供了高度的機動性,方便進入空間有限的維修區(qū)域??蛇x的背景抑制(iZERO)功能能夠在2秒內(nèi)實現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進行泄漏測試。

 所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間,同時確保可以經(jīng)濟實惠地檢測出所有泄漏。

 好處

  • 通過縮短抽氣時間和響應(yīng)時間加快泄漏檢測工作

  • 通過使用可選的背景抑制(Izero),避免需要進行多次泄漏測試。

  • 通過緊湊的設(shè)計方便進入空間有限的維護區(qū)域

  • 通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統(tǒng)實現(xiàn)低擁有成本 (TCO)

  • 通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應(yīng)用難度

  • 通過內(nèi)置泄漏測試和自動校準程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護

典型應(yīng)用

  • 對清潔度要求嚴苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

  • 在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

  • 真空工具的維護工作,無論是否有泵的支持

  • 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

  • 半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造


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