深圳市科銳詩汀科技有限公司
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更新時間：2025-01-17 08:41:49瀏覽次數(shù)：2次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)英?？禋堄鄽怏w分析儀的功能應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD
英福康殘余氣體分析儀的功能
應(yīng)用于ALD、蝕刻、CVD ，對殘余氣體進(jìn)行過程監(jiān)測和分析
測量速度為每點 1.8 ms（每秒 555 點）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實踐驗證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 提供支持，是一款強大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個壓力進(jìn)口并減少表面積，以小化表面反應(yīng)時間和響應(yīng)時間
電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力，并自動保護系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動校準(zhǔn) — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配
用戶性
■ 定性氣體純度。
INFICON/英?？禋堄鄽怏w分析儀的 Transpector CPM RGA
1.使用總壓強鏡頭獲得的離子源壓強讀數(shù)@低發(fā)射
2.總壓強準(zhǔn)確度@低發(fā)射
3.離子源大工作壓強@低發(fā)射
4.2x10-4Torr的離子源將在四極區(qū)域產(chǎn)生大約1x10-5Torr的壓強
5.EM開啟且保壓時間為1秒時離子源處的MDPP
6.質(zhì)量數(shù)40對41 AMU的貢獻(xiàn)
7.零沖擊對2 AMU的貢獻(xiàn)
8.空氣中的氪的最小可檢出濃度@ 1秒保壓時間
9.適用于1 Torr孔板或更低設(shè)置。0.1至2倍標(biāo)稱孔板壓強條件下的線性@低發(fā)射
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