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IMM-100薄膜沉積監(jiān)測儀

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產(chǎn)品簡介

IMM-100.pdfIMM-100薄膜沉積監(jiān)測儀通過精確率和厚度監(jiān)測實現(xiàn)可重復保護并增加您的利潤IMM-100是一款采用ModeLock技術(shù)構(gòu)建的沉積監(jiān)測儀,可限度地提高再現(xiàn)性和均勻性,同時提供的厚度精度、的測量分辨率和的速率噪聲

詳細介紹

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IMM-100薄膜沉積監(jiān)測儀

通過精確率和厚度監(jiān)測實現(xiàn)重復 保護并增加您的利潤 IMM-100 是一款采用 ModeLock 技術(shù)構(gòu)建的沉積監(jiān)測儀,可限度地提高再現(xiàn)性和均勻性,同時提供的厚度精度、的測量分辨率和的速率噪聲。
內(nèi)置振蕩器時,IMM-100 可以輕松地集成到 EtherCAT 系統(tǒng)中,只需極少的硬件和占地面積。這款功能強大且精確的測量監(jiān)視器肯定會為您的過程帶來新的性能水平。

功能

  • INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長的晶體壽命,并確保、分辨率和厚度測量,即使在非常低的速率下也是如此

  • 通過的 QCM 厚度測量實現(xiàn)產(chǎn)量

  • 單通道速率和厚度監(jiān)測儀,無需不必要的附加功能,以限度地降低成本

  • ±0.0035 Hz 超過 100 ms 采樣

  • 用于無縫集成的 EtherCAT 通信

  • 緊湊的尺寸,通過節(jié)省工具空間來限度地降低集成成本

  • 專家應用支持,能夠討論的應用需求,并提供比競爭對手更大的支持

  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 發(fā)光二極管應用



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