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深圳市科銳詩汀科技有限公司


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INFICON 750-446-G1六探頭

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產品簡介

750-446-G1六探頭的詳細資料:由氣動機構自動完成晶體的標引

詳細介紹

750-446-G1六探頭的詳細資料:


由氣動機構自動完成晶體的標引. 與采用昂貴的, 在真空中發(fā)熱的電動馬達的競爭性
儀器相比, 這個氣動的驅動馬達提供更好的晶體熱穩(wěn)定性. 1 /8" 冷卻水管可保持六探頭
的熱穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性.
與 INFICON 薄膜控制器一起使用時, 六探頭提供位置反饋, 從而可使用特定材料于特定
的位置.
優(yōu) 點
■ 六探頭內 6 片晶體有堅固耐用, 過程運行時間自動轉換的功能
■ 穩(wěn)定的晶體溫度是由于晶體的氣動轉換(競爭性儀器使用發(fā)熱的馬達)
■ 1 /8" 冷卻水管可保持熱穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性
■ 供應可選的光學晶體擋板
CrystalSix 傳感器2
訂購資料
CrystalSix 六探頭
CrystalSix 六探頭....................................................750-446-G1
CrystalSix 六探頭帶擋板...........................................SPS-1039-G1
注 1:
CrystalSix 六探頭需用750-420-G1氣動控制閥.
注 2:
CrystalSix 六探頭不能用于XTM/2, TM400,
TM350, 或SQM160 石英晶體監(jiān)測器.
六探頭
真空內電纜
法蘭
基片

擋板
短 6" BNC
電纜
控制器或監(jiān)測器
震蕩器或
XIU
震蕩器 (XIU) 至儀器
連接電纜
技術規(guī)范
750-446-G1 CrystalSix 六探頭技術規(guī)范
烘烤溫度, 無水時 130°C
工作等溫環(huán)境
溫度, 最小水流量時 400°C
水, 空氣和同軸管長度標準 30" (76 厘米)
晶體更換 前裝式, 需提取工具 (隨儀器提供)
裝配六探頭本體后面有6個#4-40 帶螺紋的孔
尺寸 (外尺寸) 3.8" (9.7 厘米) 直徑 x 2.0" (5.1 厘米) 高
安裝要求
法蘭 數量 (1) 2?" ConFlat® 帶兩個同軸法蘭, 兩根水管, 一根空氣管 IPN 002-080, 或
數量 (1) 1" 螺紋帶一個同軸法蘭, 兩根水管, 一根空氣管 IPN 750-030-G1, 其
它為用戶提供用于水和空氣管的真空密閉的釬焊接頭或連接件.
空氣閥門組件, IPN 750-420-G1 (未提供), 帶 0.022" 限制孔徑, 用戶安裝. (孔徑包括在
CrystalSix 的附件箱中.)
XIU 或震蕩器用于與鍍膜控制器接口. 必須選用這個特定晶體六探頭的鍍膜控制器
(INFICON XTC/2, XTC/C, IC/4, IC/4 PLUS, IC/5, Cygnus, XTC/3M, STC/3S, SQC310, SQC310C).

產品特點:INFICON CrystalSix 六探頭是長過程中連續(xù)速率控制的關鍵設備. 無論是 OLED, MBE,
太陽能, 長過程光學鍍膜, 或在兩次放空之間有一個長的時間周期的其它過程, CrystalSix
六探頭提供 6 片石英監(jiān)測晶體在一個六探頭探頭內的可靠性.


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