深圳市科銳詩汀科技有限公司
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更新時間：2025-01-15 14:42:57瀏覽次數(shù)：3次
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前載式單探頭的詳細資料：
探頭
可單個訂購或訂購探頭 / 法蘭組合, 可選焊接的或直口接頭裝配的結構.
探頭配置
提供兩種探頭配置: 標準型和緊湊型. 標準型用于從真空室的側面或底部安裝, 冷卻管與晶片是平
行的. 緊湊型用于從真空系統(tǒng)的頂部安裝, 冷卻管與晶片是垂直的. 可選購探頭帶有氣動晶體擋板,
用于在源加熱升溫的過程中, 交替材料沉積或未使用晶體時, 或為延長晶體壽命使用
RateWatcher™ 時保護晶體. 為便于更換晶體, 擋板采用下拉式結構.
為有效地消除 RF 干擾的問題, 暴露的晶體電極是妥善接地的.
法蘭
INFICON 提供兩種法蘭的可選型號: 1" 螺絲法蘭或 2 ?" （CF40） ConFlat® 法蘭.
可按用戶要求提供 KF40 法蘭.
法蘭連接
前載式單探頭可訂購帶法蘭的組合型. 探頭 / 法蘭連接可采用焊接或直口接頭.
直口接頭易調(diào)整, 無釬焊或焊接的要求. 法蘭可沿管長移動, 對于 "E" 長度探頭, 在真空系統(tǒng)內(nèi)的長
度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 （8"- 28"） 的范圍內(nèi)調(diào)整, 對于 "G"長度探頭, 可在 20.3 厘米至 121.9
厘米 （8"- 48"） 的范圍內(nèi)調(diào)整. 一旦確定所需的長度, 直口接頭可用手指擰緊的管密封件. 或者, 可選
焊接連接. 如需焊接連接, 必須在訂購前填寫 INFICON 提供的一個探頭長度規(guī)格表.
優(yōu) 點
■ 前載式晶體支架
■ 易安裝
■ 可提供:
- 2.54 厘米（1"） 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■ 如訂購直口接頭的, 可調(diào)節(jié)長度
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接
的探頭/ 法蘭組合.
■ 如訂購直口接頭的,
無需釬焊或焊接法蘭
前載式單傳感器2
SL –
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訂購資料
前載式單探頭 （帶真空內(nèi)電纜）
探頭型號 （包括真空內(nèi)電纜, 晶體抓住器和用戶手冊. 晶
體單獨銷售）
標準探頭 （水管平行） .......................................... A
緊湊探頭 （水管垂直） ............................. B
擋板組件 – 見注4
無 ........................................................................................... 0
標準擋板 .......................................................................... 1
探頭長度– 見注1 和3
標準長度 – 203 毫米（8"） 至 711毫米（28"） 包括
781 毫米（30.75"） 真空內(nèi)電纜. 見注6........................... E
延伸長度– 大于 711 毫米（28"）; 1219 毫米 （48"）
包括 1524 毫米 （60"） 真空內(nèi)電纜.
見注 6 ................................................................................ G
法蘭 – 見注2
無............................................................................................ 0
1" 螺紋......................................................................................... 3
CF40............................................................................................ 4
法蘭連接 – 見注4
探頭未連接法蘭........................................... 0
探頭焊接至法蘭..................................................... 7
可變長度帶 Ultra-Torr 直口接頭. （使用Ultra-Torr 直口接頭使
探頭長度可變） ........... 8
未提供下列組合 （見注4 和 5）:
SL-A1E38, SL-A1G38, SL-B1E38, SL-B1G38, SL-A1E47, SL-A1G47, SL-B1E47, SL-B1G47
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