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INFICON CDG025D-X3電容膜片真空計(jì)

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CDG025D-X3

INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì),在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整??垢g性的超純陶瓷傳感器具有的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長(zhǎng)使用壽命。的傳感器屏蔽(技術(shù))保護(hù)真空計(jì)防止過程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC兼容性,長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。CDG025D真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。

優(yōu)點(diǎn):

1、 全刻度范圍從100毫乇。。。1000乇。

2、 電源接通后快速穩(wěn)定。

3、 暴露大氣壓后快速恢復(fù)。

4、 抗腐蝕性陶瓷傳感器。

5、 的長(zhǎng)期訊號(hào)穩(wěn)定性。

6、 溫度補(bǔ)償。

7、 保護(hù)傳感器防止污染。

8、 一鍵調(diào)零功能

9、 寬范圍電源。

10、     兩個(gè)設(shè)點(diǎn)。

11、     RS232接口。

12、     符合清潔室條件。

用途:

在要求高的應(yīng)用中用于精確和快速的壓強(qiáng)測(cè)量;

用于刻蝕,CVD,PVD,ALD等半導(dǎo)體制造設(shè)備。

數(shù)據(jù)貯存和顯示制造設(shè)備。

工業(yè)真空設(shè)備。

一般高精度壓強(qiáng)測(cè)量。


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