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INFICON AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CS SKY電容膜片真空計(jì)

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AllceramicTMCDG160A-C/CDG160A-CSSKY電容膜片真空計(jì)的詳細(xì)資料：SKYAllCeramicCDG160A-C是專為高要求應(yīng)用（例如氧化，擴(kuò)散和LPCVD）而設(shè)計(jì)的無(wú)金屬160oC溫控電容膜片真空計(jì)，所有暴露于真空的表面（例如管件，等離子屏蔽和污染保護(hù)罩）均由耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成，避免來(lái)自真空計(jì)規(guī)管的潛在性金屬污染

詳細(xì)介紹

AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CSSKY電容膜片真空計(jì)的詳細(xì)資料：

SKY AllCeramic CDG160A-C是專為高要求應(yīng)用（例如氧化，擴(kuò)散和LPCVD）而設(shè)計(jì)的無(wú)金屬160oC溫控電容膜片真空計(jì)，所有暴露于真空的表面（例如管件，等離子屏蔽和污染保護(hù)罩）均由耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成，避免來(lái)自真空計(jì)規(guī)管的潛在性金屬污染。

SKY AllCeramic CDG160A-C集成CDG160A系列真空計(jì)驗(yàn)證的傳感器技術(shù)，在LPCVD和其它苛刻的半導(dǎo)體制造應(yīng)用中達(dá)到高可靠和重復(fù)性的性能要求。

優(yōu)勢(shì)：

1、防止金屬污染的無(wú)金屬超純陶瓷結(jié)構(gòu)。

2、溫度控制于160oC,防止

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