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Bruker NPFLEX白光干涉儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Bruker NPFLEX白光干涉儀

詳細(xì)介紹

【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

NPFlex 三維表面測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉原理，為精密機(jī)械加工領(lǐng)域大樣品表面表征測(cè)量提供了適合的解決方案，開(kāi)放式的龍門(mén)設(shè)計(jì)提供了更大測(cè)量空間，克服了以往某些零件由于角度或取向造成的測(cè)量困難。NPFlex 為用戶(hù)提供比接觸式方法所能得到的更多數(shù)據(jù)量、更高分辨率和更好的重復(fù)性，使它成為精密機(jī)械加工領(lǐng)域優(yōu)異的測(cè)量方案可廣泛用于醫(yī)療植入，航空航天、汽車(chē)或精密加工上的大型、異型工件的測(cè)量。

【主要應(yīng)用】

1、用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測(cè)量；

2、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機(jī)械加工部件等領(lǐng)域的測(cè)量。

【主要參數(shù)】

RMS 重復(fù)性	0.004 nm
垂直分辨率	0.1nm
樣品尺寸	H: 249mm D: 304mm W: 304mm
樣品臺(tái)承載	50kg
橫向取樣間隔	0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )
光學(xué)橫向分辨率	350nm
臺(tái)階測(cè)試精度	0.75%
臺(tái)階重復(fù)性	<0.1% 1σ
傾斜調(diào)整	手動(dòng) ± 45° / 自動(dòng)調(diào)節(jié) ± 6°
垂直掃描速度	96um / 秒，用戶(hù)可自行設(shè)定
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)	CE, NRTL, T-Mark, ROHS，ANSI B46.1