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半導(dǎo)體晶圓激光打孔機(jī)

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半導(dǎo)體晶圓激光打孔機(jī)

詳細(xì)介紹

歡迎個(gè)性定制

 專業(yè)定制團(tuán)隊(duì)可根據(jù)客戶的需求,提供個(gè)性化定制服務(wù)。如有此類需求,歡迎咨詢客服熱線:。

歡迎免費(fèi)打樣
 韻騰激光可以提供免費(fèi)打樣服務(wù)。技術(shù)咨詢,工藝咨詢,產(chǎn)品咨詢,乘車咨詢,請(qǐng)直接來(lái)電!

歡迎實(shí)地參觀
 韻騰激光的產(chǎn)品品質(zhì)行業(yè),歡迎來(lái)公司實(shí)地參觀考察!多家企業(yè)激光品牌,多家企業(yè)共同見證。

1、該設(shè)備采用IPG激光器,功率穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)、免維護(hù)

2、孔深比大,微孔圓度好

3、光路固定,平臺(tái)移動(dòng),孔型一致性好,垂直度好

4、同步運(yùn)動(dòng)打孔,速度快

5、自動(dòng)布孔,孔距可設(shè)定,準(zhǔn)確打孔

6、引導(dǎo)入DXF、PLT等圖形,根據(jù)圖形要求打孔

7、采用雙閉環(huán)位置控制,精度高

8、真空吸附,操作方便

9、吸塵處理,設(shè)備可放于超凈間

相關(guān)應(yīng)用:

應(yīng)用于硅晶片,半導(dǎo)體晶圓,非晶薄膜等材料

技術(shù)規(guī)格參數(shù):

序號(hào)項(xiàng)目技術(shù)參數(shù)
 光學(xué)單元
1激光器類型355、532、1064nm可選 10ps
2冷卻方式恒溫水冷
3激光功率10~100W
4光束質(zhì)量M2<1.3
5聚焦方式&加工頭數(shù)單點(diǎn)&平場(chǎng)聚焦鏡、雙頭
6最小聚焦光斑直徑

Ф3--15μm

激光加工性能
7加工速度100~3000mm/s可調(diào)
8最小崩邊3μm
9加工材料厚度2mm
10加工尺寸&精度12inches, ±5μm
機(jī)械單元
11機(jī)床結(jié)構(gòu)龍門式
12機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸數(shù)&種類最多8軸,  X,Y,  Z, &θ軸
13平臺(tái)行程&速度650mm×450mm,800mm/s
14運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)精度≤±1μm
15運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度≤±3μm
軟件控制單元
16激光加工&平臺(tái)控制Strongsoft, Strongsmart
17加工文件導(dǎo)入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
19CCD視覺定位精度≤±3μm
電氣單元
20PLC控制器Panasonic
21真空系統(tǒng)真空泵
22除塵&集塵系統(tǒng)專業(yè)粉塵過濾集成凈化機(jī) 
自動(dòng)化單元
23自動(dòng)上下料系統(tǒng)XZ軸+可移動(dòng)上下料平臺(tái)
高級(jí)可選單元
24AOI視覺檢測(cè)8--12寸大片/3min
25自動(dòng)裂片功能8--12寸大片/3min
26自動(dòng)清洗分選8--12寸大片/3min
安裝環(huán)境
27整機(jī)供電&穩(wěn)壓器功率220V380V,8KW
28壓縮空氣壓強(qiáng)≥0.6MPa
29無(wú)塵室等級(jí)10000
30地面承重 2T/m2
31保護(hù)氮?dú)?/span> 高純氮


切割、鉆孔樣品:

盛雄激光-2.jpg

為什么選擇韻騰激光 Why choose rhythm laser

的研發(fā)團(tuán)隊(duì)

85%的公司員工擁有大專及以上學(xué)歷,技術(shù)研發(fā)人員占總?cè)藬?shù)的一半以上,其中研發(fā)骨干人員代表著行業(yè)內(nèi)水平。

豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)

公司自2013年成立以來(lái),風(fēng)雨兼程一路走來(lái),憑借著的專業(yè)技術(shù)和強(qiáng)大的研發(fā)優(yōu)勢(shì),成功的為近300家不同行業(yè)企業(yè)提供了激光設(shè)備及其應(yīng)用服務(wù),積累了的豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。


一體化的解決方案

公司始終秉承以市場(chǎng)為導(dǎo)向,解決客戶實(shí)際需求為己任。

開發(fā)完成 觸摸屏行業(yè) TP銀漿線+ITO自動(dòng)定位蝕刻系統(tǒng)方案,F(xiàn)PC+PCB高精密

自動(dòng)送料切割系統(tǒng)。

專注  專業(yè)  合作  共贏是我們多年來(lái)前行的動(dòng)力!

免費(fèi)方案設(shè)計(jì)

免費(fèi)樣品評(píng)估

免費(fèi)報(bào)價(jià)咨詢

標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器免費(fèi)試用

相關(guān)業(yè)務(wù)人員。


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