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PI P-726重量較大物鏡掃描臺(tái)(Z軸)

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產(chǎn)品型號(hào)hy000502

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

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更新時(shí)間:2024-02-26 11:22:09瀏覽次數(shù):235次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PI P-726重量較大物鏡掃描臺(tái)(Z軸)

詳細(xì)介紹



P-726 PIFOC大負(fù)載物鏡掃描臺(tái)(Z軸)

剛度較高,專用于重量較大的物鏡



性能:

重量較大的物鏡的高動(dòng)態(tài)定位、掃描

210g負(fù)載下,560Hz振動(dòng)頻率

物鏡掃描定位,亞納米精度,毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

掃描行程:100um,分辨率0.3nm

采用電容傳感器直接測(cè)量,線性度

無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),物鏡補(bǔ)償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性


參數(shù):

尺寸:60*50.7mm

重復(fù)精度:±3nm

目鏡直徑:M-32

推拉力:100/50N

閉環(huán)行程:100um

無負(fù)載下自振頻率:1120Hz

傳感器:電容傳感器

剛度:3.4N/um

閉環(huán)分辨率:0.4nm

串?dāng)_(X,Y:50nm

線性度:0.02%


應(yīng)用:

3D成像

拍攝

顯微技術(shù)

自聚焦系統(tǒng)

共聚焦顯微系統(tǒng)

表面分析

晶片光刻檢驗(yàn)


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