上海沃盾精密設備科技有限公司
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更新時間：2023-11-03 08:52:18瀏覽次數(shù)：198次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)白光干涉儀8200
美國ZYGO白光干與儀8200
NewView 8200系列的3D光學表面輪廓儀能夠提供強壯的多功能的非接觸式光學表面形貌丈量分析。一切的丈量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強壯的分析軟件能夠準確的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、要害尺度和其它形貌特征。 運用zygo的相干掃描干與技術(shù)，NewView 8200系列輪廓儀能夠很簡單的丈量各種原料表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。
體系參數(shù)：
◆原理: 非觸摸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器
◆視場:規(guī)范裝備：0.04-16mm，跟物鏡和擴大倍率有關(guān),運用圖像拼接技能可以得到更大范圍
◆光源: 均勻成像，高效率，特殊規(guī)劃長壽命白光LED
◆物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚集）
◆丈量陣列:標配1024×1024 像素；可選分辨率：512×512
◆樣件調(diào)查: 專用液晶顯示屏實時調(diào)查
◆精細聚集 :電控手動和主動聚集
◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，100mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:體系尺寸：151×73×61cm ，NewView：81×58×41cm
◆分量 :體系分量：約229Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機
◆軟件:ZYGO MX軟件
◆物鏡座: 標配，可快速裝卸單物鏡夾具
◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。
◆塔臺:手動6位塔臺；電控 64位塔臺；
◆樣品臺:手動/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動可選
◆縱向掃描范圍:150μm，拓寬掃描形式可到20mm,
◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.34μm（100X物鏡下）
◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點: 規(guī)范307200；可選984064；
◆RMS 重復性 ＜0.01 nm， RMSσ
◆臺階丈量 準確度： ≤ 0.8% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ
◆測樣品特性:各種材料的外表：通明，不通明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射
◆反射率: 0.5-
◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);
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