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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司


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TEBO兆聲波清洗設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：15條

所在地區(qū)：上海上海市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

盛美持有的技術(shù)——時(shí)序能激氣穴震蕩（TEBO）技術(shù)，使用創(chuàng)新的兆聲波清洗方式來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷清洗，可應(yīng)用于現(xiàn)在和未來(lái)幾代*器件中，如3D圖形片，極小尺寸，高深寬比結(jié)構(gòu)等。TEBO-用于*器件的清洗技術(shù)

詳細(xì)介紹

TEBO兆聲波清洗設(shè)備

主要優(yōu)勢(shì)

智能兆聲波技術(shù)

使用便捷

精確控制

減少成本、保護(hù)環(huán)境


特性和規(guī)格

最多可配至12套清洗腔體, 產(chǎn)能可達(dá)375 片/小時(shí)

具有雙面清洗能力, 最多可配至5種清洗藥液，工藝靈活

最多可以回收2種藥液

使用高溫IPA干燥技術(shù)

配備TEBO智能兆聲波組件

集成式藥液供給模塊，可供給DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等

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