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高精度三軸激光干涉鏡組

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哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司

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產(chǎn)品簡介

一.產(chǎn)品簡介DP03-P是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的高精度三軸激光干涉鏡組

詳細(xì)介紹

一.產(chǎn)品簡介

DP03-P是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的高精度三軸激光干涉鏡組。DP03-P鏡組具有三個(gè)測量軸，可對被測目標(biāo)進(jìn)行多自由度位移同步測量，以進(jìn)一步解算其偏擺角度，適合超精密多自由度的測量應(yīng)用。

二.DP03-P 型三軸激光干涉鏡組技術(shù)規(guī)格

測量特性	分辨力	λ/4（光學(xué)四細(xì)分）
	熱漂移系數(shù)	≤40 nm/K
	非線性誤差	優(yōu)于±2nm
光機(jī)特性	光束直徑	9mm
	輸出效率	≥5%（三軸總和）
	測量點(diǎn)公差	平均值±0.15mm,偏差值±1mm
	角度容差	±1.5mrad
	光束平行度	＜50μrad （單軸測量光與參考光之間）
工作環(huán)境	溫度范圍	18℃-25℃ (推薦值 20±1℃，30 min 內(nèi)變化≤±0.1℃)
工作環(huán)境	相對濕度	30% - 60%
物理特性	尺寸	134mmX91mmX73mm （包含殷鋼保護(hù)殼）
	重量	3 kg
	共振頻率	>1kHz