儀器特點(diǎn)
◆鑄鐵基座經(jīng)過嚴(yán)格的時(shí)效處理，保證整體穩(wěn)定性。
◆高牌號(hào)工作臺(tái)，經(jīng)過嚴(yán)格熱處理時(shí)效，長期使用保證基準(zhǔn)面不變形，導(dǎo)軌運(yùn)行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無限遠(yuǎn)高倍率光學(xué)系統(tǒng)。
◆采用LED光源照明系統(tǒng)，保證高亮度，長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動(dòng)工作臺(tái)，保證測量精度。
◆超高的工作距離，采用步進(jìn)電機(jī)升降，方便調(diào)節(jié)，自帶DIC裝置插槽。
◆*粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)*小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性，儀器的部件升級無需*人員，用戶可自行操作完成。


應(yīng)用領(lǐng)域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導(dǎo)電粒子彩色濾光片、手機(jī)屏幕、FPD模組半導(dǎo)體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業(yè)。




技術(shù)參數(shù)

儀器型號(hào)	RX-200	RX-300
X，Y，Z向測量行程（mm）	200x100x200	300x200x200
工作臺(tái)面（mm）	400x300	450x350
外形尺寸（mm）	600x350x1040	700x450x1040
測量精度	X，Y軸:（3+L/200）μm     Z軸:（5+L/200）μm
重復(fù)精度	3μm
光柵尺分辨率	0.001mm
光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
CCD	高分辨率500萬像素
鏡頭	標(biāo)準(zhǔn)金相顯微鏡鏡頭（帶偏光片組，LED燈源）
物鏡	5X，10X，20X，50X
目鏡筒	鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒、30°傾斜、瞳距：55～75mm
目鏡	高亮點(diǎn)、大視場目鏡
調(diào)焦組	粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)*小每格0.002mm
數(shù)顯裝置	多功能數(shù)顯表
測量軟件	YR-J
上光源	LED燈
下光源	平行光路設(shè)計(jì)，無極連續(xù)可調(diào)LED冷光源

備注：根據(jù)客戶需求，可特殊定制。