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粗糙度輪廓儀

大幅提高的驅(qū)動速度(X軸:80mm/s,Z2軸立柱:30mm/s)進一步減少了總的測量時間。
為了更長時間地保持直線度，三豐公司采用了抗老化且極耐磨的非常堅固的陶瓷導軌；
驅(qū)動器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高精度線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、對較難定位部件的重復測量的重復精度得以提高。
輪廓測量技術(shù)參數(shù):
X軸
測量范圍:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
檢測方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動速度:80mm/s、外加手動
測量速度:0.02-5mm/s
移動方向:向前／向后
直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm *以X軸為水平方向上

指示精度(20°C時):±(0.8+0.01L)μm(SV-C3200S4,H4,W4) (SV-C4500S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(SV-C3200S8,H8,W8) (SV-C4500S8,H8,W8)  *L為驅(qū)動長度(mm)
傾角范圍:±45°
Z2軸(立柱)
垂直移動:300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動速度:0-30mm/s、外加手動
Z1軸(檢測器)
測量范圍:±30mm
分辨率:0.04μm(SV-C3200),0.02μm(SV-C4500)
檢測方法:圓弧光柵尺
指示精度(20°C時):±(1.6+I 2H I/100)μm(SV-C3200)
±(0.8+I 2H I/100)μm(SV-C4500) *H:基于水平位置的測量高度(mm)
測針上／下運作:弧形移動
測針方向:向上／向下
測力:30mN
跟蹤角度:向上:77°,向下:83°
(使用配置的標準測頭，依表面粗糙度而定)測針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金
表面粗糙度測量的技術(shù)參數(shù)：
X1軸
測量范圍:100mm或200mm
檢測方法:線性編碼器
驅(qū)動速度:80mm/s
移動方向:向后
直線度:(0.05+L/1000)μm(S4,H4,W4型)
0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)
Z2軸(立柱)垂直移動:300mm或500mm
分辨率:1μm
檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動速度:0-30mm/s、外加手動
檢測器
范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測頭選件)
檢測方法:無軌／有軌測量
測力:4mN或0.75mN(低測力型)
測針針尖:金剛石、90o/5μmR(60o/2μmR:低測力型)
導頭曲率半徑:40mm
檢測方法:差動電感式
性能參數(shù)：