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霍尼韋爾/Honeywell數(shù)字式氣體質(zhì)量流量傳感器HAF系列 ±50~±750SCCM

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品       牌

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更新時間:2024-05-11 11:55:40瀏覽次數(shù):99次

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聯(lián)系人:李欽鋒

產(chǎn)品簡介

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi),提供對于流量的可重復響應(yīng)。

詳細介紹

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。 這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成,薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi),提供對于流量的可重復響應(yīng)。

工作特性:

特性 參數(shù)值
供電電壓 3.3Vdc ±10%;5.0Vdc±10%
供電電流 16mA
工作溫度范圍 -20~+70℃
補償溫度范圍 0~50℃
零點精度
滿量程的 ±0.02%
響應(yīng)時間
1ms(典型值)
分辨率
最小12位
啟動時間 17ms
預熱時間
30ms
校準介質(zhì) 氮氣
總線標準 I2C,快速模式(至400 KHZ)
零點穩(wěn)定性 偏移:滿量程的±0.01%

額定參數(shù):

特性 參數(shù)值
供電電壓 -0.3VDC-6.0VDC
輸出引腳電壓 -0.3V-輸入電壓
儲存溫度范圍 -40~+125℃
流量變化 5.0 SLPM/S
共模壓力

25PSI

流量 10 SLPM

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