蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)鋁制
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間：2025-03-04 07:33:50瀏覽次數(shù)：1次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 百分零部件網(wǎng)類型：渦輪分子泵材質(zhì)：鋁制顏色：白品牌：Edwards型號(hào)：EXT75DX,EXT556H描述：愛德華 EXT系列渦輪分子泵
愛德華 EXT系列渦輪分子泵 型號(hào)：EXT75DX
概述
EXT75DX 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵，它將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級(jí)技術(shù)與帶來額外便利性的板上 24 V 控制器結(jié)合在了一起，該控制器可實(shí)現(xiàn)與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。 它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N2抽速可達(dá) 66ls-1。 基本的泵系統(tǒng)可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級(jí)泵。
功能和優(yōu)勢(shì)
通過板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動(dòng)、智能冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)排氣選件。
與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
并行或串行接口。
并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號(hào)界面。
串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
排氣閥控制設(shè)置
運(yùn)行速度指示
待機(jī)運(yùn)行速度
可編程功率設(shè)置
功耗
泵/控制器溫度
標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
用于清潔泵、減少振動(dòng)和降低磨損的永磁上軸承。
手動(dòng)排氣閥（電磁閥操作的型號(hào)可以用于全自動(dòng)排氣）。
Holweck 分級(jí)實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力容差。
氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。
技術(shù)參數(shù)
EXT75DX | EXT556H | |
入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K | DN160ISO-K/DN160CF |
抽速（l/s） | ||
N2 | 61 | 540 |
He | 57 | 580 |
H2 | 53 | 500 |
壓縮比 | ||
N2 | >1 × 1011 | >1 × 1010 |
He | 1 x 106 | 1 x 108 |
H2 | 5 x 104 | 5 x 106 |
極限壓力 (mbar) | <10-10 | |
帶有 RV 前級(jí)泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 | |
帶有隔膜前級(jí)泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 | |
推薦前級(jí)泵* | RV5/nXDS5i | RV12/nXDS10i |
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar | 2 x 10-3 mbar |
強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar | 5 x 10-4 mbar |
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm | 50000 rpm |
到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間 | 110 s ? | 6.5min |
冷卻方法# | 強(qiáng)制空氣/水 | 強(qiáng)制空氣/水 |
強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C | 0 °C - 35 °C |
最小冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 | 15 l h-1 |
水溫范圍 | 10 - 20 °C | 10 - 20 °C |
入口法蘭溫度 | 100 °C | 80 °C |
操作姿態(tài) | 垂直且豎直，直到 | 垂直且豎直， |
水平 | 直到水平 | |
1 米處的噪音級(jí)別 | <50 dB(A) | <60 dB(A) |
推薦控制器 | TIC100 分子泵和儀器控制器 | EXC300 |
靜止電功率 | 10 W | 35 W |
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