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STP1003C 真空渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號STP1003C

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2025-01-12 09:05:11瀏覽次數(shù)：5次

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產(chǎn)品簡介

Edwards 防腐蝕 STP1003C 是的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

詳細(xì)介紹

概述

Edwards 防腐蝕 STP1003C 是的渦輪分子泵，可用于的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

應(yīng)用

  • 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴(kuò)散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理：射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子  
  • 大的制程靈活性
  • 無油
  • 低振動
  • 高度
  • 免維護(hù)
  • 可用于嚴(yán)苛制程（C 型）
  • 使用壽命延長
的控制器設(shè)計  
  • 自動調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機(jī)驅(qū)動
  • 無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計  
  • 占地面積小
  • 半機(jī)架控制器

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO200F
KF40
吹掃口 KF10
抽速
  N2 1000 ls-1
  H2 800 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >105
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） 10-7 Pa

(10-9 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） 10-8 Pa

(10-10 Torr)
大連續(xù)壓力 13 Pa

(0.1 Torr)
額定速度 35000 rpm
啟動時間 6 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

至 240 (± 10) V 交流
啟動時的功耗 0.8 kVA
泵重量 31 kg
控制器重量 9 kg

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