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芯明天壓電物鏡定位器

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產(chǎn)品型號高動態(tài)P72

品       牌

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更新時間:2023-11-12 10:49:26瀏覽次數(shù):149次

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聯(lián)系人:楊先生

產(chǎn)品簡介

芯明天壓電物鏡定位器 P72壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設(shè)計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

詳細介紹

芯明天壓電物鏡定位器?

P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設(shè)計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

芯明天壓電物鏡定位器特性;

• 行程110μm

• 承載0.2kg

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 閉環(huán)重復定位精度高

• 開環(huán)/閉環(huán)可選

典型應(yīng)用

• 三維成像 • 干涉/計量

• 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微

• 生物科技 • 半導體測試

體積小巧、易于集成、高動態(tài)、直線性好

壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可實現(xiàn)行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選,易于與其 他光學顯微鏡等集成。臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu),無摩擦且具有的分辨率。由于其空載諧振頻率可達350Hz,且可帶載200g負載 作高速精密運動,在光學掃描、共焦顯微等領(lǐng)域得到廣泛 的應(yīng)用??蛇x擇閉環(huán)版本,實現(xiàn)超高的定位精度。

螺紋適配器便于安裝

P72物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。

P72壓電物鏡定位器技術(shù)參數(shù):

型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P72.Z100S P72.Z100K

單位

運動自由度

Z

標稱行程范圍(0~120V)

80

μm±20%

行程范圍(-20~150V)

110

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

閉/開環(huán)分辨率

5/2.5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.05/-

%F.S.

推/拉力

110/15

N

運動方向剛度

1.4

N/μm±20%

空載諧振頻率

350

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/3

ms±20%

閉環(huán)空載工作頻率

10%行程

50

Hz±20%

99%行程

15

承載

0.2

kg

靜電容量

3.6

μF±20%

材質(zhì)

重量

150

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

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