Chotest SJ6000激光干涉儀 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能 ² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~38℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差 ² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線(xiàn)性測(cè)量 ² 測(cè)量距離：0-40m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)
² 測(cè)量分辨率：1nm
² 測(cè)量速度：3m/sec
角度測(cè)量 ² 軸向量程：0-15m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1″
平面度測(cè)量 ² 軸向量程：0-15 m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±（0.6%R+0.02 M
2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 基板尺寸：50mm、100mm、150mm
測(cè)量分辨率：0.1μm
直線(xiàn)度測(cè)量 ² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測(cè)量范圍：±3.5 mm
² 測(cè)量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M
2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量 ² 軸向量程：0.1-3.0 m
測(cè)量范圍：±3.5mm
² 測(cè)量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量 ² 角度測(cè)量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1″
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2″
尺寸重量與供電
² 便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）
² 基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg
² 供電電源：110~265VAC
會(huì)員1.png)
QQ:2568841715
