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Verifire ATZ激光干涉儀

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產(chǎn)品型號Verifire™ ATZ

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更新時間：2023-11-22 10:56:29瀏覽次數(shù)：145次

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上海浦量元精密機(jī)電有限公司

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產(chǎn)品簡介

高精度的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)需要高性能的測量技術(shù)和方法

詳細(xì)介紹

Verifire™ ATZ激光干涉儀

Ring of Fire™點(diǎn)光源是Verifire™ AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎(chǔ)，傳統(tǒng)的激光干涉儀用的是相干點(diǎn)光源，在測試腔中形成相干光。但是，點(diǎn)光源在光路中遇到細(xì)小顆粒時同時也會產(chǎn)生寄生的干涉條紋（牛眼環(huán)）。的Ring of Fire™光源系統(tǒng)是只對光學(xué)腔產(chǎn)生干涉，而將干涉腔外的細(xì)小顆粒產(chǎn)生的干涉條紋遏制，整個干涉儀的性能得到增強(qiáng)，所測量的性能得到增強(qiáng)，所測量的結(jié)果更令人信服。

高精度的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)需要高性能的測量技術(shù)和方法，不僅需要具備高速操作簡單和長期穩(wěn)定的檢測設(shè)備和方法，同時更需要更高精度產(chǎn)品檢測的需求。ZYGO Verifire™激光干涉儀做開創(chuàng)的Ring of Fire™光源技術(shù)，消除了長期困擾的“牛眼環(huán)"所帶來的測量上的影響，將測量精度提高到一個新的臺階，同時配備ZYGO自主開發(fā)的Metropro軟件，以及與傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件，真正使Verifire™激光干涉儀在高速、簡易和穩(wěn)定基礎(chǔ)上達(dá)到新的高度。可以說，ZYGO Verifire™激光干涉儀不僅是新一代的激光干涉儀，更是一次新的干涉測量技術(shù)的ge命。