高速可動(dòng)刀口系統(tǒng)

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哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司

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產(chǎn)品簡介

一.產(chǎn)品簡介VS部件實(shí)現(xiàn)調(diào)整光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場(chǎng)尺寸以及視場(chǎng)內(nèi)光強(qiáng)的均勻性

詳細(xì)介紹

一.產(chǎn)品簡介

VS部件實(shí)現(xiàn)調(diào)整光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場(chǎng)尺寸以及視場(chǎng)內(nèi)光強(qiáng)的均勻性。要求刀片掃描運(yùn)動(dòng)與掩膜臺(tái)掃描運(yùn)動(dòng)同步。

二.設(shè)計(jì)原則

模塊化設(shè)計(jì)原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設(shè)計(jì)，須便于集成前的模塊離線測(cè)試。
輕量化原則：在滿足強(qiáng)度及模態(tài)需求情況下，降低質(zhì)量，減輕對(duì)電機(jī)出力的需求。
質(zhì)心匹配原則：電機(jī)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量與驅(qū)動(dòng)力盡可能在同一平面實(shí)現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動(dòng)，可減小附加轉(zhuǎn)矩。
尺寸約束原則：在滿足接口尺寸要求條件下，合理布局，盡可能平衡各預(yù)留尺寸。
易于裝調(diào)原則：在設(shè)計(jì)階段考慮裝調(diào)測(cè)試，以減小工裝設(shè)計(jì)和裝調(diào)的難度。
硬件安全原則：運(yùn)動(dòng)部件必須有安全防護(hù)裝置及限位，機(jī)械方式，其次電氣及軟件方式。

三.產(chǎn)品規(guī)格

需求名稱		指標(biāo)
行程需求	VS最小開口	0.5mm*0.5mm
	X向行程	總行程±22mm,其中功能行程±20mm
	Y向行程	總行程±30mm，其中功能行程±28mm
Y方向運(yùn)動(dòng)特性	VS運(yùn)動(dòng)誤差(動(dòng)態(tài))	±0.03mm
	刀片形貌誤差	0.02mm
	刀片熱變形影響	0.02mm
	刀片刀口刃厚度	≤0.lmm
	加速度(驗(yàn)收指標(biāo))	5g
	加速度(設(shè)計(jì)目標(biāo))	6g
	速度(驗(yàn)收指標(biāo))	0.6m/s
	速度(設(shè)計(jì)目標(biāo))	0.8m/s
	加速穩(wěn)定時(shí)間(驗(yàn)收指標(biāo))	<8ms
	加速穩(wěn)定時(shí)間(設(shè)計(jì)目標(biāo))	<6ms
	反向沖擊力	<40N
X方向運(yùn)動(dòng)特性	VS運(yùn)動(dòng)位置誤差	±0.02mm
	刀片形貌誤差	0.02mm
	刀片熱變形影響	0.02mm
	刀片刀口刃厚度	≤0.1mm
	加速度	2g
	速度	0.5m/s
	設(shè)定時(shí)間	90ms,運(yùn)動(dòng)距離10mm
刀口位置	四個(gè)刀口共面	≤0.1mm
	相鄰刀片斜面距離	≤0.1mm
	X方向刀片相對(duì)安裝基準(zhǔn)面垂直度(全運(yùn)動(dòng)行程內(nèi))	<0.02mm
	Y方向刀片相對(duì)安裝基準(zhǔn)面平行度(全運(yùn)動(dòng)行程內(nèi))	<0.02mm
壽命		7年
MTBF	平均時(shí)間	>10000h