edi清洗超純水反滲透部分有哪些

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在半導(dǎo)體行業(yè)中，反滲透部分多采用雙級反滲透工藝。以確保后續(xù)工藝的安全性。通過雙級反滲透，可去除水中超過99%的懸浮物、膠體，98%以上的溶解鹽，大部分的微生物、TOC和部分CO。該半導(dǎo)體制造廠也采用雙級反滲透工藝，同時將雙級反滲透拆分成兩個獨(dú)立的部分，這樣就更加有效地保證了系統(tǒng)的連續(xù)運(yùn)行。即使在更換反滲透膜或在線清洗反滲透膜時.也不會造成整個工廠大面積的停水，確保了關(guān)鍵部位的連續(xù)用水。該半導(dǎo)體廠采取在一級反滲透前增加SBS、MDC加藥裝置。保證了一級反滲透系統(tǒng)的安全運(yùn)行：在一級反滲透和二級反滲透之間增加一套加堿裝置，可提高二級反滲透系統(tǒng)的脫鹽率
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